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產(chǎn)品中心

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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心光譜系統(tǒng)顯微缺陷膜厚OPTM series 嵌入型

OPTM series 嵌入型

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

利用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn),在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測(cè)量等膜厚信息。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-06-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:423
詳細(xì)介紹在線留言

產(chǎn)品信息

 特 點(diǎn)

●膜厚測(cè)量范圍1nm~92μm(換算為SiO2)

●膜厚值高重復(fù)精度

●1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測(cè)量

●最小小點(diǎn)Φ3μm)中瞄準(zhǔn)模式

●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對(duì)準(zhǔn)用圖像

 

裝置組裝示意圖

OPTM series 嵌入型

 

測(cè)量數(shù)據(jù)示意圖

OPTM series 嵌入型

 

測(cè)量光點(diǎn)周邊圖像

OPTM series 嵌入型

 

適應(yīng)過(guò)程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

式樣

OPTM series 嵌入型







上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測(cè)器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場(chǎng)上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度,客戶遍布全國(guó)。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場(chǎng)地位和影響力。

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