顯微分光膜厚儀

產(chǎn)品簡介
OPTM 系列顯微分光膜厚儀
測量項(xiàng)目：

? 絕.對(duì)反射率測量

? 多層膜解析

? 光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

產(chǎn)品型號(hào)：OPTM 系列

更新時(shí)間：2025-06-24

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：7766

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OPTM 系列顯微分光膜厚儀

• 使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕.對(duì)反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

• 可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。

• 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

• 通過顯微光譜法測量高精度絕.對(duì)反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

• 1點(diǎn)1秒高速測量

• 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）

• 區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

• 易于分析向?qū)В鯇W(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

• 獨(dú)立測量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求

• 支持各種自定義

測量項(xiàng)目：

• 絕.對(duì)反射率測量

• 多層膜解析

• 光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

OPTM 系列顯微分光膜厚儀

型號(hào)	OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長范圍	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
膜厚范圍	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
測定時(shí)間	1秒 / 1點(diǎn)
光斑大小	10μm (小約5μm)
感光元件	CCD		InGaAs
光源規(guī)格	氘燈+鹵素?zé)?/span>		鹵素?zé)?/span>
電源規(guī)格	AC100V±10V 750VA（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格）
尺寸	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分)
重量	約 55kg（自動(dòng)樣品臺(tái)規(guī)格之主體部分）